Az ASML új generációs EUV berendezéseket fejleszt. A tömegtermelés várhatóan 2025-ben várható.

A jelenlegi félvezető folyamat zsugorodása a 10 nanométeres csomópont alá esett, és az EUV extrém ultraibolya litográfia nélkülözhetetlen eszköz lett, beleértve a jelenlegi 7nm-es folyamatot, és a jövőben 5nm, 3nm vagy akár 2nm-es folyamatban fog elfogadni. .

Az EUV berendezések bevezetésével nemcsak felgyorsíthatja a termelés hatékonyságát, javíthatja a hozamot, hanem csökkentheti a költségeket is. A lemezgyártók aktív bevezetése mellett a DRAM memóriagyártók is fontolóra veszik a bevezetést.

A folyamat miniatürizálására irányuló piaci keresletre válaszul az ASV, amely az EUV-berendezések egyik legnagyobb gyártója világszerte, aktívan fejleszti a következő generációs EUV-berendezést, amely a High-NA (High Numerical Aperture) EUV terméke. néhány éven belül tömegesen előállítható.

A koreai média "ETNews" szerint a High-NA EUV berendezések és a jelenlegi EUV berendezések között a legnagyobb különbség az, hogy az EUV expozíció használatával a felbontás és a litográfia átfedése a lencse felbontásának növelésével érhető el. A képesség 70% -kal magasabb, mint a jelenlegi EUV-rendszerek, amelyek megfelelnek az iparág geometriai chip-méretezésének követelményeinek.

Az ASML a német Zeiss Semiconductor üzleti egység technológiáját használja az objektív felbontásának javítása érdekében. Ennek érdekében 2016-ban az ASML hivatalosan 24,9% -os részesedést szerzett a német Zeiss Semiconductor üzletágban.

A High-NA EUV termékek következő generációjához az ASML korábban 4 megrendelést szerzett 3 nagyobb vásárlótól és 8 High-NAEUV terméket értékesített elsőbbségi vásárlási jogokkal. Ezek közül a megrendelések közül az egyik az öntödei alapító TSMC is.

Tény, hogy 2018-ban a TSMC bejelentette, hogy 300 millió USD-t emel a tőkekiadásoknak az EUV-berendezések következő generációjának, azaz az EUV-berendezéseknek, amelyeket a High-NA következő generációjára előre megvásároltak. Az új generációs High-NAEUV berendezések esetében az ASML-t 2025-ben várhatóan tömeggyártásra tervezik.

Email: Info@ariat-tech.com HK TEL: +00 852-30522540 ADD: Lakás / Rm A17 9 / F, Silvercorp nemzetközi torony 707-713 Nathan Road MongKok, Hongkong.